当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。
压阻式传感器是利用晶体的压阻效应制成的传感器。当它受到压力作用时,应变元件的电阻发生变化,从而使输出电压发生变化。一般压阻式传感器是在硅膜片上做成四个等值的电阻的应变元件,构成惠斯通电桥。
体型压阻传感器:利用半导体材料电阻制成粘贴式的应变片(半导体应变片),用此应变片制成的传感器称为半导体应变式传感器,其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片。
1、直接用作各种压力的测定:气压、水压、液压(包括水压),生活中人们各种血压测定等;
2、汽车、某些摩托车以及几乎所有内燃机里都有压力传感器的使用;
3、液位计:各种液位测定的现场表计大多也是压力传感器;
4、大多数电子称量称、汽车衡的称重信号来源也是压力传感器。
5、航空、航天中加速度测量也使用压力传感器。